山东创世威纳科技有限公司
Shandong Chuangshiweina Technology Co., LTD.
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RIE-601型： 刻蚀缓慢好控制，耐氟基或更弱腐蚀性气体
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RIE-400型：去胶+修胶+刻蚀，针对大尺寸片状样品
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DISC-RIE-8100：刻蚀速率控制方便，耐氟基或更弱腐蚀性气体，带双片送取样室（Load-Lock）
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DISC-RIE-8101：氯基刻蚀设备，刻蚀速率控制方便，耐氯基强腐蚀气体，带双片送取样室（Load-Lock）
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RIE-1201型：大样品刻蚀，选择比高
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RIE-5100型：刻蚀速率控制方便，耐氟基或更弱腐蚀性气体，带单片送取样室（Load-Lock）
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RIE-8100型：刻蚀速率控制方便，耐氟基或更弱腐蚀性气体，带双片送取样室（Load-Lock）
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RIE-5101型：氯基刻蚀设备，刻蚀速率控制方便，耐氯基强腐蚀气体，带单片送取样室（Load-Lock）
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RIE-8101型：氯基刻蚀设备，刻蚀速率控制方便，耐氯基强腐蚀气体，带双片送取样室（Load-Lock）
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