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MPR-3型:效率高,多片同时去胶

名称:MPR-3型:效率高,多片同时去胶

详细信息

应用方向:批量生产

产品优势:高效率,多片同时去胶

产品配置:

★样品数量及尺寸:15-20片Φ6英寸(或以下)

★腔体:低真空系统

★刻蚀材料:光刻胶等材料

★去胶速率:100~500nm/min

★电源配置:射频

★操作模式:全自动+半自动控制

设备详细结构与功能,请咨询销售工程师。

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