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MVA-400型:大尺寸片状样品退火工艺

名称:MVA-400型:大尺寸片状样品退火工艺

详细信息


应用方向科研与小批量生产

产品优势大尺寸片状样品退火工艺

产品配置:

退火台数量及尺寸:2个400mm×400mm

退火腔体:高真空系统

退火台加热:高温加热

温度控制:多段控温模式,控温精度±1

退火平台表面温度不均匀性:≤±5

气体保护:氮气

侧壁水冷系统:包含

氧化/氮化处理:可选配小流量质量流量控制器

操作模式:全自动+半自动控制

类似产品:小尺寸样片退火工艺(MVA-200)

设备详细结构与功能,请咨询销售工程师。

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