欢迎光临北京创世威纳科技有限公司官方网站!

北京创世威纳科技有限公司

Beijing Chuangshiweina Technology Co., LTD.

产品中心


联系我们

总机:010-62907051

          010-62907049


销售:010-62907051转801/802/830


售后:010-62907051转837


人事:010-62907051转821



感应耦合等离子体刻蚀机

ICP-5101型:氯基专用刻蚀设备, 耐氯基强腐蚀气体,带单片送取样室(Load-Lock)

名称:ICP-5101型:氯基专用刻蚀设备, 耐氯基强腐蚀气体,带单片送取样室(Load-Lock)

详细信息

应用方向:科研与教学

产品优势:耐氯基强腐蚀气体,带单片送取样室(Load-Lock)

产品配置:

样片数量及尺寸:1片Ф6英寸

刻蚀材料:包括并不限于GaN、GaAs、InP、Al、Cr、单晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、Mo、聚合物等。

刻蚀腔体:高真空系统

Load-Lock:低真空系统 或 高真空系统。单片装,样品自动运送。

刻蚀不均匀性:±3%-±6%

刻蚀速率:0.1-4μm/min(视具体材料与工艺)

工作台:可升降,包含水冷

电源配置:上电极射频,下电极偏压,包含自动匹配

气路数量与种类:6路气路,其中2路耐氯气腐蚀VCR焊接 或 用户选配

深硅刻蚀系统:可选配

He冷背吹系统:可选配

终点检测控制:可选配质谱仪

操作模式:全自动+半自动控制

类似产品:带双片送样室耐氯气腐蚀(ICP-8101)

设备详细结构与功能,请咨询销售工程师。

联系我们


北京创世威纳科技有限公司

地址:北京市昌平区回龙观

座机:010-62907051转801/802/830

传真:010-62999722

邮箱:chuangshiweina@sina.com

大学科研教学设备销售顾问:

初经理 13264560630

王经理 13146848685

研究所、企业研发、生产设备及各类特种需求、前沿技术类设备销售顾问:

王经理 13910555133


官方微信公众平台

官方微信公众平台

版权所有 @ 2019 北京创世威纳科技有限公司 备案号: 京ICP备09010696号-1